離子泵 構造:強磁鐵,蜂窩狀陽極,鈦(Ti)陰極。 原理:通過濺射現象,使Ti離子化,Ti離子化學反應活性高。和氣體分子反應之后生成化合物。一部分氣體分子也離子化之后向陰極加速,使陰極的Ti被濺射后,一部分離子進入陰極內部。 特征: 能達到超高真空(10-10Pa) 需要和其它初段排氣泵組合。 有一定壽命。Ti升華泵 構造:加熱電阻絲、Ti材料(線或球)。 原理:通過加熱電阻絲,使Ti升華。因為Ti化學反應活性高、立刻和周圍的氣體分子反應而生成穩定的化合物。反應生成的化合物吸附在真空腔內壁上、從而達到降低氣壓的效果。如果升華后的Ti吸附在較大面積的內壁上、則產生巨大的排氣速度。比如1平方米的面積上吸附Ti原子的話、對氮氣而言、可達到24000升/s的排氣速度。 在壓力較高時(>10-3Pa)、排氣速度大大降低。因此需要和其他排氣泵組合使用。 特征: 排氣速度大。 沒有運動部分,沒有振動。 需要和其它初段排氣泵組合。 有一定壽命。低溫泵 構造:冷凍機、液態He。 原理:利用氣體在超低溫表面凝結而達到排氣效果。 特征: 能達到超高真空(10-11Pa) 排氣速度快。 安裝方向不受限制。